THS4减振器因其内部阻尼室的空间更大，所以能提供更出色的减振及衰减性能，且稳定时间远优于光学平台。

减振方式：气动减振

固有频率：垂直/水平=1.5-2HZ

10Hz减振率：90-99%

自动调整水平:是

调整水平重复性：

1、标准调整精度±1.0mm

2、高精度调整精度±0.05mm

在垂直和水平方向提供水平的减振性能。THS4减振器采用两室系统，用节流孔将气室与阻尼室相连接。

两室结构能够有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需时间降低，并且固有频率更低。

如需较高的水平度，可将精密调平阀（±0.05mm）安置在减振器上，减振性能更好。

在THS4系列减振器上可以安装内置型油阻尼，搭载运动平台的设备稳定时间得以缩减，减振器刚性提升。

光学设备、检测设备、半导体设备、探针台