电子显微镜容易受到由多种因素引起的振动干扰，包括地板振动输入引起的结构共振。气浮被动隔振系统无法提供足够的振动环境来发挥显微镜观察高倍率和高分辨率图像的最佳性能。

VAIS-PB 是针对电子显微镜（SEM、TEM 和 FIB）优化的基础平台型主动隔振系统。 凭借其气动支撑框架，优于竞争对手的金属弹簧系统，有效地消除非周期性脉冲振动。

自 2015 年成功商业化以来，该系统的高性能能力已应用于全球多家电子显微镜制造商。

技术优势

1. 高阻尼气动支撑架

高阻尼气动支撑架增强了 VAIS-PB 对非周期性脉冲振动的稳定性。

2. 前馈控制

利用反馈和前馈控制，VAIS-PB 具有出色的防止低频（小于 10Hz）振动干扰的能力，这是电子显微镜的一个关键因素。

3. 状态指示灯

前面板上的三个 LED 灯（红、绿、蓝）方便地通知用户振动环境的变化和可操作性。

4. 自我诊断

数字控制的 VAIS-PB 设计用于方便地自我诊断与操作相关的故障，例如重心变化。

5. 远程支持

提供远程实时支持，方便性能诊断和技术支持。

性能

1.隔振性能（传递率）

【应用领域】

一 应用说明

1.电子显微镜和扫描电镜内置气动被动减振系统，需要低于 10Hz 的低频振动干扰的环境，低频振动干扰通常由建筑物的结构共振产生。 VAIS-PB 在共振范围内隔离的振动是被动隔振系统的 300 到 500 倍。

2.在 2014 年将该系统成功应用于Quanta 250 FEG多用途扫描电镜 后，VAIS-PB 继续在日立、蔡司、Jeol、Tescan 等厂商的其他几款电子显微镜和扫描电镜中表现出出色的性能。

3 VAIS-PB 通其气动支撑框架提供稳定的振动环境，该框架对非周期性脉冲输入具有稳定性。

4 使用空气弹簧支架，VAIS-PB 可应用于各种重量的设备，从较轻的 SEM 和 FIB 到较重的 TEM 和 STM。

二 应用领域

扫描电子显微镜 (SEM)

聚焦离子束显微镜 (FIB)

透射电子显微镜 (TEM)

扫描隧道显微镜 (STM)

重载精密仪器