概述

气浮被动隔振系统，主要用于隔离电子显微镜安装部位周围的振动，由于低频共振现象而放大振动。 即使在对振动干扰相对稳定的普通SEM的情况下，低频区的共振现象也可能影响IEST VC-E 级的振动环境，即电子显微镜最佳操作的最小振动状态。

VAIS-CMT 是一款全主动式隔振系统，采用 3 轴 6 自由度控制技术，消除气动被动式隔振器的共振问题。

由于金属螺旋弹簧框架的支持，VAIS-CMT 不需要压缩空气供应。 VAIS-CMT较低的高度改善了气浮被动减振系统带来的不便。

特性

1. 易于安装和运输

由金属螺旋弹簧支撑，VAIS-CMT 不需要压缩空气供应，可以方便地运输和安装在任何有电的地方。

2. 前馈控制

利用反馈和前馈控制，VAIS-CMT 具有出色的防止低频振动干扰的能力，这是被动隔振系统无法做到的。

3. LED 状态指示灯

前面板上的三个 LED 灯（红、绿、蓝）方便地显示振动环境变化和可维修性的状态。

4. 自我诊断

数字控制的 VAIS-CMT 设计用于方便地自我诊断与操作相关的故障，例如重心变化。

5. 远程支持

提供远程实时支持，方便性能诊断和技术支持。

性能

1.隔振性能（传递率）